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Product Introduction 제품소개

CVD Conditioner

CVD 공법을 이용하여 다이아몬드 탈락을 방지하고 제품간 성능 편차를 감소시켜 패드 Refresh를 해주는 Consumable

타깃
Semiconductor Chip-Maker (Non-memory, Memory (DRAM/FLASH), Foundries)
품 명
CVD Conditioner
규 격
4.25” (Stainless Steel, CVD Diamond Coating)
어플리케이션
반도체 CMP 공정(Buffing, Barrier, Poly, SOH)
세 번
6804.21-0000
특장점
Stable Pad Roughness, Long pad life time, Small debris size & Amount
031-000-0000